Методика повышения качества функционирования автоРазработка конструктивно-кинематической модели микромеханических акселерометров колебательного микромеханического акселерометра
Аннотация
В статье рассматривается проблема повышения качества и конкурентоспособности микроэлектромеханических структур (МЭМС) на основе конструктивно-кинематической модели, построенной на новых физических принципах и законах. Актуальность проблемы отражена в постановлении Правительства Российской Федерации от 15 апреля 2014 г. № 328 «Об утверждении государственной программы Российской Федерации «Развитие промышленности и повышение ее конкурентоспособности». В рамках импортозамещения отечественные МЭМСдатчики нуждаются в широкой номенклатуре разных по принципам построения чувствительных элементов с возможностью применения российской элементной базы и частичном отказе от традиционных решений. Примером является работающий в режиме автоколебаний «обращенный» датчик силы, обеспечивший упрощение технологических решений и высокие силовые характеристики. Рассмотрена разработка конструктивно-кинематической модели инерциального датчика первичной информации с компенсирующим преобразователем магнитоэлектрического или электромагнитного типа.
Об авторе
Е. А. АманРоссия
Аман Елена Эдуардовна, ассистент кафедры Высшей математики и механики
190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, лит. А
Список литературы
1. Тузов А. Датчики для измерения параметров движения на основе MEMS-технологии. Часть 1. Инерциальные датчики средней точности // Электроника: наука, технология, бизнес. 2011. № 1. С. 72–78.
2. Тыртычный А. А., Скалон А. И. Выбор подвеса чувствительных элементов инерциальных микромеханических датчиков для систем управления малых космических аппаратов // Труды МФТИ. 2014. Т. 6. № 2. С. 92–98.
3. Тыртычный А. А. Принципы построения микромеханических инерциальных датчиков на электромагнитных и оптоэлектронных элементах и сравнительный анализ их компенсирующих преобразователей // Научные труды Международной молодежной научной конференции XXXIV. Гагаринские чтения в 8 томах. 2008. Т. 3. С. 82.
4. Тыртычный А. А., Скалон А. А. Анализ характеристик компенсирующих преобразователей микромеханических инерциальных датчиков // Датчики и системы. 2009. № 2. С. 21–23.
5. Тыртычный А. А. Разработка микромеханических автоколебательных инерциальных датчиков // Конкурс научно-технических работ и проектов молодых ученых и специалистов «Молодежь и будущее авиации и космонавтики»: аннотации работ. М.: МАИ-ПРИНТ, 2010. С. 51–52.
6. Пешехонов В. Г., Несенюк Л. П., Грязин Д. Г. Микромеханические преобразователи. Современное состояние и применение в военной технике // Мехатроника, автоматизации, управление. 2009. № 3. С. 28–32.
7. Теоретический базис и конструктивно-кинематические схемы микромеханических инерциальных автоколебательных датчиков / Е. Э. Аман, С. Р. Карпиков, И. Н. Лукьяненко, А. И. Скалон, А. А. Тыртычный // Датчики и системы. 2016. № 7 (205). С. 3–9.
Для цитирования:
Аман Е.А. Методика повышения качества функционирования автоРазработка конструктивно-кинематической модели микромеханических акселерометров колебательного микромеханического акселерометра. Вопросы радиоэлектроники. 2019;(10):17-20. https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-10-17-20
For citation:
Aman E.E. Development of constructive-kinematic model of micromechanical accelerometers. Issues of radio electronics. 2019;(10):17-20. (In Russ.) https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-10-17-20