Preview

Вопросы радиоэлектроники

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Бестугин А.Р., Киршина И.А., Окин П.А., Овчинникова Н.А., Филонов О.М. ВЛИЯНИЯ ФОРМЫ МЕМБРАНЫ НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ РЕЗОНАНСНЫХ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ. Вопросы радиоэлектроники. 2017;(10):11-14.

For citation:


Bestugin A.R., Kirshina I.A., Okin P.A., Ovchinnikova N.A., Filonov O.M. INFLUENCES OF THE FORM OF THE MEMBRANE ON SENSITIVITY OF RESONANT MICROELECTROMECHANICAL SENSORS OF PRESSURE. Issues of radio electronics. 2017;(10):11-14. (In Russ.)

Просмотров: 25


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2218-5453 (Print)
ISSN 2686-7680 (Online)