Preview

Вопросы радиоэлектроники

Расширенный поиск

ИНФОРМАТИВНОСТЬ ПО ШЕННОНУ В КОНТРОЛЕ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОДУКЦИИ

https://doi.org/10.21778/2218-5453-2018-10-6-10

Полный текст:

Аннотация

В статье рассматривается технологический процесс изготовления разделенной на ячейки кристаллической пластины, каждая ячейка которой содержит некоторое фиксированное число элементов микромеханических гироскопов. Показано, что на основе общей идеологии математической теории планирования оптимального регрессионного эксперимента, при использовании в качестве основы модели регрессии на базис выборочных главных компонент, а в качестве критерия - количества информации по Шеннону, можно оценить информативность ячеек кристаллической пластины. Упорядочивание ячеек по информативности, в свою очередь, дает возможность ускорить процесс отбраковки микроэлектронной продукции. Рассмотрен численный пример, основанный на реальной выборке микроэлектронной продукции. Предлагаемая методика может быть использована как в процессе наладки производственного процесса, так и в отбраковке выпускаемой продукции, когда дальнейшая настройка оборудования уже невозможна.

Об авторах

Ю. А. Гусман
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Россия

к. т. н., доцент кафедры высшей математики и механики

190000,  Санкт‑Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, лит. А, тел.: 8 (911) 231‑34‑44



Ю. А. Пичугин
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Россия

д. ф.‑ м. н., профессор кафедры высшей математики и механики

190000, Санкт‑Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, лит. А, тел.: 8 (981) 146‑57‑79



А. О. Смирнов
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Россия

д. ф.‑ м. н.,  зав.  кафедрой  высшей  математики  и  механики

190000, Санкт‑Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, лит. А, тел.: 8 (812) 371‑91‑73



Список литературы

1. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007. 400 с.

2. Михальчук А. С., Пичугин Ю. А. Дисперсионный анализ погрешностей технологических процессов микроэлектроники // Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем: сборник докладов. СПб.: ГУАП, 2017. 175 с.

3. Ермаков С. М., Жиглявский А. А. Математическая теория оптимального эксперимента. М.: Наука, 1987. 320 с.

4. Себер Дж. Линейный регрессионный анализ. М.: Мир, 1980. 456 c.

5. Пичугин Ю. А. Замечания к отбору данных в задачах, связанных с линейной множественной регрессией // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2002. № 5. С. 61–62.

6. Лоули Д., Максвелл А. Факторный анализ как статистический метод. М.: Мир, 1967. 144 с.

7. Прикладная статистика. Классификация и снижение размерности / С. А. Айвазян, В. М. Бухштабер, И. С. Енюков, Л. Д. Мешалкин. М.: Финансы и статистика, 1989. 607 с.

8. Ллойд Э., Ледерман У. Справочник по прикладной статистике. М.: Финансы и статистика,1990. 526 с.

9. Гельфанд И. М., Яглом А. М. О вычислении количества информации о случайной функции, содержащейся в другой такой функции // Успехи математических наук. 1957. № 1. С. 3–52.

10. Михальчук А. С. Оценка погрешностей геометрических размеров конструктивных элементов микромеханического гироскопа на основе статистики измерений собственных частот. В 3 ч. Ч. 1. Технические науки // Сборник трудов научной сессии ГУАП. СПб.: ГУАП, 2013. С. 183–186.


Для цитирования:


Гусман Ю.А., Пичугин Ю.А., Смирнов А.О. ИНФОРМАТИВНОСТЬ ПО ШЕННОНУ В КОНТРОЛЕ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОДУКЦИИ. Вопросы радиоэлектроники. 2018;(10):6-10. https://doi.org/10.21778/2218-5453-2018-10-6-10

For citation:


Gusman Yu.A., Pichugin Yu.A., Smirnov A.O. SHANNON’S INFORMATIVE VALUE FOR CONTROL OF MICROELECTRONIC PRODUCTS. Issues of radio electronics. 2018;(10):6-10. (In Russ.) https://doi.org/10.21778/2218-5453-2018-10-6-10

Просмотров: 79


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2218-5453 (Print)
ISSN 2686-7680 (Online)