Preview

Вопросы радиоэлектроники

Расширенный поиск

ПОВЫШЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ ПУТЕМ ОПТИМИЗАЦИИ ТОПОЛОГИИ РЕЗОНАНСНОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

Полный текст:

Аннотация

В статье рассматривается задача повышения чувствительности микромеханического датчика давления с частотно-модулированным выходным сигналом. Приводятся технически обоснованные рекомендации по размещению резонатора на мембране и его угловой ориентации по отношению к ее кристаллографическим осям. Показано, что поиск оптимального размещения требует учета зависимости проектных параметров от угловой ориентации резонатора.

Об авторах

А. Р. Бестугин
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
Россия

д. т. н., профессор

190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, тел.: 8 (812) 571-19-89


О. М. Филонов
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
Россия

к. т. н., доцент

190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, тел.: 8 (812) 571-19-89


И. А. Киршина
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
Россия

к. э. н., доцент

190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, тел.: 8 (812) 571-19-89


П. А. Окин
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
Россия

аспирант

190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д. 67, тел.: 8 (812) 571-19-89


Список литературы

1. Гридчин, В. А., Драганов, В. П. Физика микросистем. – Новосибирск: НГТУ, 2004.

2. Ваганов, В. И. Интегральные тензо-преобразователи. – М.: Энергоатомиздат, 1983.

3. Bestugin, A. R., Ovodenko, A., Kirshina, I., Filonov, O. Parametrical correction of microelectromechanical systems // Proceedings of the 4th International conference on Eurasian scientific development. «East West» Association for Advanced Studies and Higher Education GmbH. – Vienna, 2015. – P. 109–116.

4. Окин, П. А. Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных преобразователей // Датчики и системы. – 2016. – № 1. – С. 27–30.


Для цитирования:


Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А. ПОВЫШЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ ПУТЕМ ОПТИМИЗАЦИИ ТОПОЛОГИИ РЕЗОНАНСНОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ. Вопросы радиоэлектроники. 2016;(6):62-65.

For citation:


Bestugin A., Filonov O., Kirshina I., Okin P. INCREASE OF SENSITIVITY OF THE MICROMECHANICAL SENSOR OF PRESSURE BY OPTIMIZATION OF TOPOLOGY OF THE RESONANT MEASURING CONVERTER. Issues of radio electronics. 2016;(6):62-65. (In Russ.)

Просмотров: 25


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2218-5453 (Print)
ISSN 2686-7680 (Online)