Preview

Вопросы радиоэлектроники

Расширенный поиск

ОЦЕНКА СТРУКТУРНОГО ПОДОБИЯ В КОНТРОЛЕ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОДУКЦИИ

https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-7-14-18

Полный текст:

Аннотация

В статье рассматривается технологический процесс изготовления микромеханических гироскопов, на выходе которых получается разделенная на ячейки кристаллическая пластина, при этом каждая ячейка содержит некоторое фиксированное число элементов продукции. Предлагается оценка структурного подобия для измерений технических характеристик различных приборов. Относительно большая величина оценки структурного подобия означает, что существует зависимость качества изготовленных приборов от положения на кристаллической пластине. Это дает основания для дальнейшей работы по улучшению технологического процесса или для изменения технологической схемы в целом. В статье рассмотрен численный пример, основанный на реальной выборке микроэлектронной продукции. Предлагаемая методика может быть использована как в процессе наладки производственного процесса, так и в процессе отбраковки выпускаемой продукции, когда дальнейшая настройка оборудования уже невозможна.

Об авторах

Ю. А. Гусман
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Россия

Гусман Юрий Аронович, к. т.н., доцент кафедры высшей математики и механики

190000, СанктПетербург, ул. Большая Морская, д.67, лит. А, тел.: 8 (911) 231‑34‑44



Ю. А. Пичугин
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Россия

Пичугин Юрий Александрович, д.ф.‑м.н., профессор кафедры высшей математики и механики

190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д.67, лит. А, тел.: 8 (981) 146‑57‑79



А. О. Смирнов
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Россия

Смирнов Александр Олегович, д.ф.‑м.н., зав. кафедрой высшей математики и механики

190000, Санкт-Петербург, ул. Большая Морская, д.67, лит. А, тел.: 8 (812) 371‑91‑73



Список литературы

1. Гусман Ю.А., Пичугин Ю.А., Смирнов А.О. Информативность по Шеннону в контроле микроэлектронной продукции // Вопросы радиоэлектроники. 2018. № 10. С. 6–10.

2. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007. 400 с.

3. Прикладная статистика. Классификация и снижение размерности / С.А. Айвазян, В.М. Бухштабер, И.С. Енюков, Л.Д. Мешалкин. М.: Финансы и статистика, 1989. 607 с.

4. Ллойд Э., Ледерман У. Справочник по прикладной статистике. Т. 2. М.: Финансы и статистика, 1990. 526 с.

5. Пичугин Ю.А. Замечания к использованию главных компонент в математическом моделировании // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. 2018. Т. 11. № 3. С. 74–89.

6. Прикладная статистика. Исследование зависимостей / С.А. Айвазян, В.М. Бухштабер, И.С. Енюков, Л.Д. Мешалкин. М.: Финансы и статистика, 1985. 487 с.

7. Ллойд Э., Ледерман У. Справочник по прикладной статистике. Т. 1. М.: Финансы и статистика, 1989. 510 с.

8. Себер Д. Линейный регрессионный анализ. М.: Мир, 1980. 456 c.

9. Михальчук А.С. Оценка погрешностей геометрических размеров конструктивных элементов микромеханического гироскопа на основе статистики измерений собственных частот // Сборник трудов научной сессии ГУАП. Ч. 1. Технические науки. 2013. С. 183–186.


Для цитирования:


Гусман Ю.А., Пичугин Ю.А., Смирнов А.О. ОЦЕНКА СТРУКТУРНОГО ПОДОБИЯ В КОНТРОЛЕ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОДУКЦИИ. Вопросы радиоэлектроники. 2019;1(7):14-18. https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-7-14-18

For citation:


Gusman Yu.A., Pichugin Yu.A., Smirnov A.O. ESTIMATION OF STRUCTURAL SIMILARITY FOR CONTROL OF MICROELECTRONIC PRODUCTS. Issues of radio electronics. 2019;1(7):14-18. (In Russ.) https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-7-14-18

Просмотров: 69


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2218-5453 (Print)
ISSN 2686-7680 (Online)